真空閥是指在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件，是指工作壓力低于標準大氣壓的閥門。真空閥門關閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。

真空閥分類：

真空截止閥、真空隔膜閥、真空電磁閥、真空安全閥、真空檔板閥、真空插板閥、真空充氣閥等。

真空閥連接形式：

活套法蘭連接

這是閥門中用得最多的連接形式。按結合面形狀又可分為以下幾種：

1）光滑式：用于壓力不高的閥門。加工比較方便。

2）凹凸式：工作壓力較高，可使用中硬墊圈。

3）榫槽式：可用塑性變形較大的墊圈，在腐蝕性介質中使用較廣泛，密封效果較好。

4）梯形槽式：用橢圓形金屬環作墊圈，使用于工作壓力≥64公斤/平方厘米的閥門，或高溫閥門。

5）透鏡式：墊圈是透鏡形狀，用金屬制作。用于工作壓力≥100公斤/平方厘米的高壓閥門，或高溫閥門。

6）O形圈式：這是一種較新的法蘭連接形式，它是隨著各種橡膠O形圈的出現，而發展起來的，它在密封效果上比一般平墊圈可靠。

螺紋連接

這是一種簡便的連接方法，常用于小閥門。又分兩種情況：

1）直接密封：內外螺紋直接起密封作用。為了確保連接處不漏，往往用鉛油、線麻和聚四氟乙烯生料帶填充；其中聚四氟乙烯生料帶，使用日見廣泛；這種材料耐腐蝕性能很好，密封效果極佳，使用和保存方便，拆卸時，可以完整地將其取下，因為它是一層無粘性的薄膜，比鉛油、線麻優越得多。

2）間接密封：螺紋旋緊的力量，傳遞給兩平面間的墊圈，讓墊圈起密封作用。

快卸法蘭連接

采用卡箍將密封O型圈與閥體法蘭夾緊，達到更好的密封。

真空閥作用：

1.開關氣路，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。

2.控制氣流大小，調節真空度在圖中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大??；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。

3.定量充氣，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。